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產(chǎn)品分類
Product CategoryLODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導(dǎo)體SiC、GaN晶圓檢查裝置。
UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品,系統(tǒng)包括四個(gè)模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù):晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊;輪廓、量測和檢查模塊;
iFocus是一款用于晶圓外觀缺陷檢測設(shè)備,利用STI的2D/3D視覺檢測系統(tǒng),采用雙2D Camera同時(shí)采集亮區(qū)和暗區(qū)照片分析特征缺陷;True 3D技術(shù),可以精確量測Bumping高度,Bumping共面性等特征??蛇m用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產(chǎn)品外觀檢測。
LODAS™ – LI系列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。
LODAS™ – BI12是列真株式會社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。
LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。