當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 晶圓缺陷檢測 > LAZIN > LODAS™ – BI8Photomask Blanks缺陷檢查裝置
簡要描述:LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
列真株式會社自創(chuàng)業(yè)以來,秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠實"的經(jīng)營理念,為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運用激光掃描技術(shù),專門制造、銷售半導(dǎo)體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征:
可檢查鉻膜、半色調(diào)膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自動判別
不僅是表面缺陷,內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時檢查。
有助于缺陷分析的4種Review圖像。
“AI Classify"進行缺陷分類、好壞判定。
免維護。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。
能檢出至今為止檢查不出的缺陷。
檢出缺陷:顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。
規(guī)格:
檢查激光:405nm 200mW LaserDiode
檢查時間:180sec
檢查對象:6英寸 Photomask blanks
設(shè)備尺寸:WxDxH=450x500x730mm
使用電源:AC100V~200V 10A
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