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EVG鍵合機(jī)
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EVG805直接鍵合設(shè)備是一種半自動(dòng)系統(tǒng),用于剝離臨時(shí)鍵合和加工的晶圓堆疊,包括器件晶圓,載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。薄晶圓可以卸載在單個(gè)基板載體上,以便在工具之間安全可靠地轉(zhuǎn)移。
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