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簡要描述:QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合,可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達(dá) 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合,可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達(dá) 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化。
系統(tǒng)特點
· 緊湊的臺式裝置,帶環(huán)境外殼
· 單點、非接觸式、可見光、光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器,測量速率高達(dá) 66 kHz
· 針對測量高反射材料上多層透明薄膜的形貌和厚度進(jìn)行了優(yōu)化
· 納米編碼的 X/Y/Z 運動,帶有磁性直線電機和交叉滾子軸承,可在 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 上快速光柵或螺旋掃描
· 可用于樣品和托盤固定的真空吸盤
· 用戶友好的 CalcuSurf-4D™ 配方生成、數(shù)據(jù)采集、表面形貌和多層薄膜分析軟件允許優(yōu)化測量采樣密度,從而在最高通量下實現(xiàn)最佳覆蓋
SD-OCT技術(shù)概述
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