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簡要描述:專為測量旋轉對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡
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Product Category詳細介紹
專為測量旋轉對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡:
•非接觸、高分辨率的高速彩色共聚焦點傳感器
•高精度對中/傾斜工作臺,帶可調壓電桿探頭,可快速輕松地對齊樣品/卡盤/夾具
•納米編碼C/R/Z (旋轉, 徑向, 垂直)運動,具有直接驅動旋轉-空氣軸承 (C軸)和直接驅動線性機械軸承(R&Z軸)
•花崗巖底座,具有尺寸穩(wěn)定的因瓦合金計量框架
示例數(shù)據(jù):
•樣品是具有衍射功能的DPT非球面
•在QuickPRO-RPS上測量
•移除多項形狀后顯示的數(shù)據(jù)
- 非球面凹陷約為800µm
- 衍射臺階高度約為1µm
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