白光干涉儀介紹:
NanoX-2000/3000系列、3D光學(xué)白光干涉儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
白光干涉儀產(chǎn)品優(yōu)勢:
1、美國硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件。
2、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等。
3、PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)。
4、Nikon干涉物鏡。
5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件。
6、TMC光學(xué)隔振臺。
7、測量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到不錯(cuò)的水平(中國計(jì)量科學(xué)研究院證書)。
如有需要,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,幫您實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo)。 白光干涉儀使用時(shí)需要注意以下幾個(gè)方面的問題:
1、環(huán)境條件:對環(huán)境光線和振動非常敏感,因此在使用時(shí)需要在低光照和無振動的環(huán)境中操作,最好在光學(xué)實(shí)驗(yàn)室等特殊環(huán)境中使用。
2、樣品準(zhǔn)備:在放置樣品之前,需要確保樣品表面干凈、平整,避免雜質(zhì)或污垢影響測量結(jié)果。
3、對準(zhǔn)調(diào)節(jié):在使用白光干涉儀進(jìn)行測量之前,需要精確對準(zhǔn)儀器并調(diào)節(jié)焦距,以確保能夠獲得清晰、準(zhǔn)確的干涉圖像。
4、操作注意:操作時(shí)要小心移動和調(diào)節(jié)儀器部件,避免碰撞或損壞儀器;同時(shí)注意調(diào)節(jié)干涉儀的參數(shù)和光源強(qiáng)度,以獲得最佳的測量結(jié)果。
5、結(jié)果分析:在獲得干涉圖像后,需要對結(jié)果進(jìn)行分析和解釋,以確定樣品表面的形狀和質(zhì)量,同時(shí)注意誤差的可能來源并進(jìn)行修正。