納米壓印機(jī)應(yīng)用了是一種新型的微納加工技術(shù)。該技術(shù)通過(guò)機(jī)械轉(zhuǎn)移的手段,達(dá)到了超高的分辨率,有望在未來(lái)取代傳統(tǒng)光刻技術(shù),成為微電子、材料領(lǐng)域的重要加工手段。
納米壓印機(jī)優(yōu)勢(shì):
由于納米壓印技術(shù)的加工過(guò)程不使用可見(jiàn)光或紫外光加工圖案,而是使用機(jī)械手段進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)移,這種方法能達(dá)到很高的分辨率。報(bào)道的高分辨率可達(dá)2納米。此外,模板可以反復(fù)使用,無(wú)疑大大降低了加工成本,也有效縮短了加工時(shí)間。因此,納米壓印技術(shù)具有超高分辨率、易量產(chǎn)、低成本、一致性高的技術(shù)優(yōu)點(diǎn),被認(rèn)為是一種有望代替現(xiàn)有光刻技術(shù)的加工手段。
加工過(guò)程:
納米壓印機(jī)的技術(shù)分為三個(gè)步驟:
1、是模板的加工:一般使用電子束刻蝕等手段,在硅或其他襯底上加工出所需要的結(jié)構(gòu)作為模板。由于電子的衍射極限遠(yuǎn)小于光子,因此可以達(dá)到遠(yuǎn)高于光刻的分辨率。
2、是圖樣的轉(zhuǎn)移:在待加工的材料表面涂上光刻膠,然后將模板壓在其表面,采用加壓的方式使圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除,防止模板與材料直接接觸,損壞模板。
3、是襯底的加工:用紫外光使光刻膠固化,移開(kāi)模板后,用刻蝕液將上一步未*去除的光刻膠刻蝕掉,露出待加工材料表面,然后使用化學(xué)刻蝕的方法進(jìn)行加工,完成后去除全部光刻膠,終得到高精度加工的材料。