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為什么要使用硅片厚度測(cè)量?jī)x,具體該怎么操作?

更新時(shí)間:2022-11-01  |  點(diǎn)擊率:1008
  硅片厚度測(cè)量儀是采用紅外干涉技術(shù)的一款測(cè)量?jī)x器。它能夠精確測(cè)量硅片厚度和測(cè)量TTV總厚度變化,也能實(shí)時(shí)測(cè)量超薄晶圓厚度(掩膜過(guò)程中的晶圓),硅片厚度測(cè)試儀非常適合晶圓的研磨、蝕刻、沉淀等厚度測(cè)量應(yīng)用。
 
  硅片厚度測(cè)量?jī)x具有突出優(yōu)勢(shì),諸多材料例如Si、GaAs、InP、SiC、玻璃、石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的,非常容易測(cè)量,標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量空間分辨率可達(dá)50微米,更小的測(cè)量點(diǎn)也可以做到。目前,儀器可廣泛用于MEMS、晶圓、電子器件、膜厚、激光打標(biāo)雕刻等工序或器件的測(cè)量。
 
  該硅片厚度測(cè)量?jī)x專業(yè)為掩膜,劃線的晶圓,粘到藍(lán)寶石或玻璃襯底上的晶圓等各種晶圓的厚度測(cè)量而設(shè)計(jì),同時(shí),硅片厚度測(cè)試儀還適合50-300mm直徑的晶圓的表面形貌測(cè)量。
 
  硅片厚度測(cè)量?jī)x的使用方法:
  測(cè)量的時(shí)候,首先將準(zhǔn)備步驟做好,像是探頭的插入鏈接和機(jī)器的開(kāi)關(guān),在開(kāi)機(jī)后,屏幕上已經(jīng)顯示出了上次關(guān)機(jī)前的信息的時(shí)候,就代表可以開(kāi)始操作了。然后是對(duì)于聲速的調(diào)整,聲速的調(diào)整是必須的,按住VEL鍵,就能夠?qū)β曀龠M(jìn)行調(diào)整,有上下符號(hào)的按鍵能夠輔助調(diào)整。
  調(diào)整好聲速以后要開(kāi)始校準(zhǔn),校準(zhǔn)是很有必要的,不管是在更換電池還是探頭之后,都應(yīng)該對(duì)機(jī)器進(jìn)行校準(zhǔn),校準(zhǔn)做不好會(huì)影響測(cè)量的數(shù)據(jù)。最后,進(jìn)行測(cè)量,將探頭與被測(cè)材料耦合就能夠自動(dòng)的進(jìn)行測(cè)量了,屏幕上會(huì)顯示出具體的測(cè)量數(shù)據(jù)信息。