電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng),有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。本產(chǎn)品可在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設(shè)備等提供優(yōu)異的隔振性能。
工作原理:
安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響,有效的解決方案則是使用隔振臺,以便營造適合該設(shè)備的條件。
電鏡隔振臺使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生最佳的振動隔離狀態(tài)。隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
電鏡隔振臺采用先進(jìn)的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個自由度方向上的振動,包括水平和垂直方向。本產(chǎn)品平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動,通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振??蔀閷?shí)驗(yàn)室中對震動敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動,提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
應(yīng)用范圍:
1、超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM);
2、光刻工具;
3、高精度計量工具;
4、光譜儀器。
電鏡隔振臺的性能優(yōu)勢:
1、5-20ms響應(yīng)時間;
2、無低頻共振、無空氣要求;
3、低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單;
4、系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除;
5、緊湊、模塊化的多功能設(shè)計;
6、穩(wěn)定性高,能*連續(xù)使用多年;
7、六個空間方向自由隔振(0.5Hz-200Hz主動隔振,>200Hz被動隔振)。