橢偏儀通過測量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化,獲得材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息,具有測量精度高、非接觸、無破壞且不需要真空等優(yōu)點。
橢偏儀的選購指南:
1、根據(jù)研究或測試的材料特性來確定光譜范圍,進一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料,考慮關(guān)心的折射率光譜區(qū)域;對于短波吸收、長波透明材料,如果關(guān)心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區(qū)域來先確定薄膜厚度,然后求解折射率。
2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性,但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場合:多層膜結(jié)構(gòu)、吸收膜、各項異性膜、光學(xué)常數(shù)沿厚度梯度分布的膜等。
3、考慮測量準(zhǔn)確性與重度性。橢偏儀重復(fù)性定義為儀器多次測量的結(jié)果的比較,比較容易定義與比較。一般的測準(zhǔn)確性時將空氣作為標(biāo)準(zhǔn)樣品(沒有其他理想的標(biāo)準(zhǔn)樣品)。
4、比較分析軟件。橢偏儀測量是一種非直接測量模式,數(shù)據(jù)需要擬合分析得來,所以分析軟件的好壞將直接影響到分析結(jié)果。