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沒想到白光干涉儀的應(yīng)用如此廣泛

更新時(shí)間:2020-12-28  |  點(diǎn)擊率:1703
  白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度高的測量儀器之一,在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它的儀器無法達(dá)到其測量精度要求。
 
  儀器的測量原理:
  本儀器是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
 

  儀器的測量應(yīng)用:
  以測量單刻線臺階為倒,在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插到對應(yīng)插孔后,開啟儀器電源開關(guān),啟動計(jì)算機(jī),將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置,先手動調(diào)整載物臺大概位置,對準(zhǔn)儀器目鏡的下方。
  在計(jì)算機(jī)上打開儀器測量軟件,在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的低點(diǎn),再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離,調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳,此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕,本儀器可自動進(jìn)行掃描測量,測量完成后,轉(zhuǎn)件自動生成3D圖像,測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數(shù)。
  本儀器具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀*的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。