白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度高的測量儀器之一,在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它的儀器無法達到其測量精度要求。
儀器的測量原理:
本儀器是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
儀器的測量應(yīng)用:
以測量單刻線臺階為倒,在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應(yīng)插孔后,開啟儀器電源開關(guān),啟動計算機,將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置,先手動調(diào)整載物臺大概位置,對準儀器目鏡的下方。
在計算機上打開儀器測量軟件,在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的低點,再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離,調(diào)整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳,此時設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕,本儀器可自動進行掃描測量,測量完成后,轉(zhuǎn)件自動生成3D圖像,測量人員可以對3D圖像進行數(shù)據(jù)分析,獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數(shù)。
本儀器具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀*的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。